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校友专栏

朱煜

发布时间:2015-04-16 查看次数:

杰出校友

朱煜

  • 姓名:    朱煜
  • 职称:    研究员、博士生导师
  • Email地址:    zhuyu@tsinghua.edu.cn
  • 通信地址:    清华大学 精密仪器与机械学系 制造工程研究所IC装备
  • 办公地点:    伟清楼405

教育背景

  • 博士 中国矿业大学机械工程学院 2001年获机械设计及理论工学博士学位
  • 硕士 中国矿业大学信息电子工程学院 1993年获计算机应用工学硕士学位
  • 学士 北京师范大学无线电电子学系 1983年获无线电电子学理学学士学位

工作履历

  • 2004.9~至今    清华大学精仪系制造所任教
  • 2001.9~2004.8    清华大学制造所博士后
  • 1999.9~2001.8    清华大学制造所访问学者
  • 1983.8~2004.8    中国矿业大学任教

学术兼职

  • “十五”“十一五”某领域国家重大专项咨询组成员, 专家组副组长;
  • 《半导体学报》杂志常务理事;
  • 北京市电子制造装备行业协会常务理事;
  • 机械工程学会高级会员。

研究领域

  • 精密测量与控制理论、超精密机械设计与制造、电子制造工艺机器装备

研究概况

  • 近年来主要从事IC制造装备发展战略与规划、集成电路制造装备超精密测量与控制等研究,研究领域包括:(1)IC制造装备发展战略规划;(2)IC装备超精密机械设计理论与方法;(3)IC装备超精密运动控制理论及技术;(4)超精密测量与误差补偿;(5)双光子微细加工。

奖励与荣誉

  • “十一五”国家科技计划执行突出贡献奖
  • 02国家科技重大专项“2010年度突出贡献奖”

学术成果

  • 近5年主持撰写专题战略研究报告30余份,发表论文120余篇,其中以第一作者或学生第一作者本人第二作者被SCI、EI同时检索13篇,EI检索40余篇。申请国家发明专利60余项,PCT 5项,31项授权,美国专利授权2项。撰写专著一部。